MKS 651D-15414 是MKS Instruments推出的一款高精度压力控制器专用于驱动MKS 253及653系列蝶阀通过PID算法实现真空系统的精确压力调节。中间13条特点内置大功率驱动器可驱动最大100mm带真空关断功能的阀门。采用自调节快速PID控制算法重复精度达满量程±0.1%。双通道输入设计支持从大气压到高真空的宽动态控制范围。前面板可同时显示系统压力和阀门开度百分比。兼容MKS 121、122、622、626、627等多种Baratron电容压力计。提供5个内部可编程设定点和1个外部模拟设定点。支持压力控制与位置控制两种模式切换。配备RS-232串行通讯接口支持远程控制。具备可调软启动功能减少腔体湍流和工艺污染。内置两个工艺限制继电器支持高低报警阈值设定。前面板设有按键锁定开关防止误操作。标配锂电池用于断电后保存参数可选配电池实现断电阀门保护。工作温度15-40°C湿度≤80%RH适合标准工业环境。结尾总体而言MKS 651D-15414 以高精度控制、宽动态范围和灵活配置为半导体及真空镀膜等领域的精密压力调节提供了可靠高效的核心控制方案。
